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Otsuka大塚膜厚檢測儀
產(chǎn)品型號：嵌入式
產(chǎn)品品牌：Otsuka大塚
產(chǎn)品介紹：

產(chǎn)品信息 特 點 采用分光干涉法 搭載高精度FFT膜厚解析系統(tǒng)（** 第4834847號） 使用光學(xué)光纖，可靈活構(gòu)筑測量系統(tǒng) 可嵌入至各種制造設(shè)備。 實時測量膜厚 可對應(yīng)遠程操作、多點測量
詳細介紹
嵌入式膜厚檢測儀

產(chǎn)品信息 特 點 采用分光干涉法 搭載高精度FFT膜厚解析系統(tǒng) 使用光學(xué)光纖，可靈活構(gòu)筑測量系統(tǒng) 可嵌入至各種制造設(shè)備。 實時測量膜厚 可對應(yīng)遠程操作、多點測量...




產(chǎn)品信息

  特　點

● 采用分光干涉法

● 搭載高精度FFT膜厚解析系統(tǒng)（** 第4834847號）

● 使用光學(xué)光纖，可靈活構(gòu)筑測量系統(tǒng)

● 可嵌入至各種制造設(shè)備。

● 實時測量膜厚

● 可對應(yīng)遠程操作、多點測量

● 采用壽命長、**性高的白色LED光源


  測量項目

● 多層膜厚解析


  用　途

● 光學(xué)薄膜（超硬涂層、AR薄膜、ITO等）

● FPD相關(guān)（光刻膠、SOI、SiO2等）

單點型


● 半導(dǎo)體晶圓的面內(nèi)分布測量

● 玻璃基板的面內(nèi)分布測量

多點型


● 實時測量

● 流向品質(zhì)管理

● 真空室適用

導(dǎo)線型


● 實時測量

● 寬度方向品質(zhì)管理